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360度科技－MEMS概述

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李洵穎 2007/07/04

　MEMS系統是微米尺寸的機械系統，包括不同形狀的三維平板印刷所產生的系統，尺寸多在微米到毫米之間。MEMS早期應用多在車用和工業領域，其中問世已經多時的加速計方面，二軸加速計已廣泛運用於汽車安全系統，當感應到汽車碰撞時，自動觸發安全氣囊；三軸加速計則已用來保護電子設備，尤其是筆記型電腦，當它快速墜落或晃動時，加速計會馬上偵測，並啟動硬碟磁頭保護措施，以避免因劇烈震動而造成硬碟資料的損毀。

近年來MEMS已逐漸脫離上述的2大傳統領域，朝向消費性與資通訊應用發展。隨著電子產品如遊戲機、手機等逐步導入互動以及主動方向感知等的功能，進而帶動MEMS產品需求，需求逐年增溫。以2006年為例，整體MEMS市場達到59.14億美元，相較2005年成長15.6％。

另外，麥克風亦為MEMS另一項主要應用，據全球性研究機構The Information Network News估計，2005年全球銷售的20億支麥克風中，MEMS麥克風已占5%，預估在2008年時將上升至15%，複合年成長率為240%，發展潛力驚人。研究機構Yole亦樂觀估計，用於手機的MEMS麥克風銷售值將由2004年的新台幣6億元高度成長至2008年的新台幣80億元，搶占48%以上的市場規模，若以年複合成長率50%預估，2010年手機用MEMS麥克風至少達150億以上的銷售值。(李洵穎)相關報導見5版